Как световой, так и электронный трансмиссионный микроскоп дает по существу двумерное (плоское) изображение, ибо при любой регулировке такого микроскопа в фокусе всегда будет находиться лишь слой небольшой толщины.

Например, при использовании светового микроскопа с иммерсионной системой глубина фокуса составляет всего только 0,25 мкм. Недавно, однако, был изобретен сканирующий электронный микроскоп. Эта модификация электронного микроскопа позволяет получать трехмерные изображения поверхностной структуры микроскопических объектов весьма различной величины.

Глубина фокуса у этого прибора достигает нескольких миллиметров, а эффективное увеличение может изменяться в пределах от 20 до 10 000. Пример изображения, получаемого с помощью такого прибора, представлен на рис. 2.10.

В таком микроскопе объект, покрытый тонким слоем тяжелого металла, сканируется узким пучком электронов (электронным зондом) наподобие того, как это делается в телевизионной трубке (рис. 2.11). Электроны, испускаемые той точкой объекта, на которую падает сканирующий пучок, собираются коллектором, и с помощью усилителя создается изображение на экране электронно-лучевой трубки.

Контраст обусловлен тем, что количество испущенных образцом вторичных электронов пропорционально углу между электронным пучком и поверхностью объекта; это и позволяет выявить пространственную структуру последнего.